一种基于二次平台线阵CCD的水平位置测量方法
文献类型：专利
| 作者 | 刘杨; 李理; 付振宪; 谭久彬 |
| 发表日期 | 2017-02-08 |
| 专利号 | CN103983189B |
| 著作权人 | 哈尔滨工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种基于二次平台线阵CCD的水平位置测量方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及基于二次平台线阵CCD的水平位置坐标的计算方法，属于超精密仪器设备测量系统的测量技术领域。本发明针对现有方法误差较大，致使整个线阵CCD测量系统的误差不符合指标或增加整个测量系统的硬件成本；二次平台系统仿真精确性和稳定性下降，影响全物理仿真的结果的问题。提出一种基于二次平台线阵CCD的水平位置测量方法：连接二次平台线阵CCD，将所有的线阵CCD摆放到预定的高度和位置；旋转半导体激光器，此时在系统中每过0.375ms都会有一个线阵CCD被扫过，从而发出一个有效的Z坐标数据；将所有实时得到的Z坐标数据进行计算处理，得到二次平台在水平位置的坐标。本发明适用于超精密仪器设备测量。 |
| 公开日期 | 2017-02-08 |
| 申请日期 | 2014-05-16 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45207]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 哈尔滨工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘杨,李理,付振宪,等. 一种基于二次平台线阵CCD的水平位置测量方法. CN103983189B. 2017-02-08. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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