动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法
文献类型：专利
| 作者 | 植木伸明; 高桥秀典 |
| 发表日期 | 2008-11-12 |
| 专利号 | CN100432620C |
| 著作权人 | 富士能株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开一种动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法，所述干涉仪装置具备：同步信号生成部(43)，其将瞬间的摄像期间设定为包含于摄像面(33)的光接受容许期间内；AOM(13)和AOM驱动器(14)，所述AOM用于使从半导体激光光源(11)出射的测定用光束，仅在该瞬间的摄像期间照射被检测体(7)。摄像机(32)，根据在瞬间的摄像期间由摄像面(33)所接受的干涉光，得到载持了该瞬间的摄像期间的被检测体(7)的相位信息的干涉条纹图像信息。从而，能够对成为测定对象的部分顺次移动的那样的被检测体，进行光干涉测量。 |
| 公开日期 | 2008-11-12 |
| 申请日期 | 2006-06-15 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45546]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 富士能株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 植木伸明,高桥秀典. 动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法. CN100432620C. 2008-11-12. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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