一種具金屬反射鏡之面射型雷射二極體之製作方法
文献类型：专利
| 作者 | 洪瑞華; 武東星; 彭韋智; 何文章; 黃英勳 |
| 发表日期 | 2002-12-21 |
| 专利号 | TW515135B |
| 著作权人 | 中華電信股份有限公司 |
| 国家 | 中国台湾 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一種具金屬反射鏡之面射型雷射二極體之製作方法 |
| 英文摘要 | 一種具金屬反射鏡之面射型雷射二極體之製作方法，主要係以金屬鏡面配合晶片鍵合技術，來取代傳統以磊晶方式或高溫高壓晶片鍵合技術製作VCSEL之布拉格反射鏡。由於金屬鏡面具高反射率，且可選擇與VCSEL材料形成歐姆接觸之金屬，又金屬鏡面之基板可選擇價格便宜且散熱好之基板，其製程簡單且有製作成本便宜、VCSEL特性良好等優點。 |
| 公开日期 | 2002-12-21 |
| 申请日期 | 2001-08-15 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45566]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中華電信股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 洪瑞華,武東星,彭韋智,等. 一種具金屬反射鏡之面射型雷射二極體之製作方法. TW515135B. 2002-12-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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