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硅基半导体超短脉冲激光器

文献类型:专利

作者丁颖; 倪海桥; 李密锋; 喻颖; 查国伟; 徐建新; 王莉娟; 牛智川
发表日期2015-07-15
专利号CN103414106B
著作权人中国科学院半导体研究所
国家中国
文献子类授权发明
其他题名硅基半导体超短脉冲激光器
英文摘要一种硅基半导体超短脉冲激光器,包括:一硅衬底、一缓冲层、一下光限制包层、一下势垒、一有源层、一上势垒、一上光限制包层和一欧姆接触层;其中该缓冲层、下光限制包层、下势垒、有源层、上势垒、上光限制包层和欧姆接触层依次制作在硅衬底上;所述下光限制包层、下势垒、有源层、上势垒、上光限制包层和欧姆接触层为半导体激光器外延结构;其中在欧姆接触层的表面向下开有沟槽,该沟槽中填充有二氧化硅材料,该沟槽的一侧为半导体放大器,另一侧为可饱和吸收体结构。本发明可以很好地解决目前半导体超短脉冲激光器主要以GaAs或InP为衬底,无法和硅基微电子集成的问题。
公开日期2015-07-15
申请日期2013-08-16
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45597]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
丁颖,倪海桥,李密锋,等. 硅基半导体超短脉冲激光器. CN103414106B. 2015-07-15.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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