一种高精度二维小角度测量装置
文献类型:专利
作者 | 刘庆纲; 李德春; 李志刚; 胡小鹏; 匡登峰; 田会斌; 李敏; 王璐 |
发表日期 | 2006-05-24 |
专利号 | CN1257383C |
著作权人 | 天津大学 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 一种高精度二维小角度测量装置 |
英文摘要 | 本发明公开了一种高精度二维小角度测量装置,属于光学非接触小型集成化的二维小角度测量技术。该装置包括二维光探头、光电测试及计算机通讯与控制装置;光探头包括半导体激光器、偏光分光镜、1/4波片、反射镜、分光镜、临界角棱镜、光电二极管;分光镜3将物体表面反射光分为两束正交的光,进入由上述部件构成的XY和YZ一维角度测量平面;输出信号分别经I-V变换、加法、减法、除法电路,由单片机控制进行A/D转换;经数字滤波后进行开关量输出、上位机通讯及显示。本发明的优点在于实现了光电测试装置和计算机通讯与控制装置的一体化,光探头通过电缆与前述部分连接,系统精度高、分辨力和测量范围可调、体积小、结构简单,分辨力可达0.05arcsec,测量范围为±600arcsec。 |
公开日期 | 2006-05-24 |
申请日期 | 2004-12-28 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45600] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 天津大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘庆纲,李德春,李志刚,等. 一种高精度二维小角度测量装置. CN1257383C. 2006-05-24. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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