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窒素化合物半導体膜の形成方法および窒素化合物半導体素子

文献类型:专利

作者湯浅 貴之; 上田 吉裕
发表日期2007-08-31
专利号JP4005701B2
著作权人シャープ株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名窒素化合物半導体膜の形成方法および窒素化合物半導体素子
英文摘要【課題】 窒素化合物半導体膜の結晶貫通転移を低減し、良好な結晶性を有するGaN厚膜を得る。 【解決手段】 GaN結晶成長を抑制する特性を有する非晶質基板または(100)立方晶基板または(110)面立方晶基板の上に、GaN結晶成長を促進する膜をストライプ状に形成し、その上にGaN結晶を成長させる。
公开日期2007-11-14
申请日期1998-06-24
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45918]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位シャープ株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
湯浅 貴之,上田 吉裕. 窒素化合物半導体膜の形成方法および窒素化合物半導体素子. JP4005701B2. 2007-08-31.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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