半導體光學裝置
文献类型：专利
| 作者 | 羽田英樹; 境野剛; 久義浩 |
| 发表日期 | 2004-10-11 |
| 专利号 | TWI222252B |
| 著作权人 | 三菱電機股份有限公司 |
| 国家 | 中国台湾 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 半導體光學裝置 |
| 英文摘要 | [課題] 製造、實裝工程中，提供一半導體光學裝置，具有防止導波路區域損傷的構造。[解決手段] 隆起導波型的半導體光學裝置包括一組臺面溝(mesa trench)間的導波路區域、臺面溝的外部的第1安裝區域及第2安裝區域、設置於第1安裝區域的第1間隔物層及設置於第2安裝區域的第2間隔物層、與導波路區域的上部遮蓋層電氣連接並從導波路區域的上部延伸至第1安裝區域的上部之第1金屬層、以及設置於第2安裝區域上部的之第2金屬層；半導體基板的底面到第1安裝區域的第1金屬層上端之高度及半導體基板的底面到第2安裝區域的第2金屬層上端之高度都高於半導體基板的底面到導波路區域的第1金屬層的上端的高度。 |
| 公开日期 | 2004-10-11 |
| 申请日期 | 2003-04-25 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46086]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三菱電機股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 羽田英樹,境野剛,久義浩. 半導體光學裝置. TWI222252B. 2004-10-11. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。