照射设备、半导体制造设备与方法和显示装置制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 月原浩一 |
| 发表日期 | 2012-08-15 |
| 专利号 | CN101303969B |
| 著作权人 | 索尼株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 照射设备、半导体制造设备与方法和显示装置制造方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种照射设备，半导体装置制造设备与方法以及显示装置制造方法。该照射设备用于使用从半导体激光器发射的光束照射照射目标，其中令w为用于照射照射目标的光束半径，Δ为半导体激光器发散角度的个体差异率，而λ为半导体激光器的光束波长，夹置在半导体激光器与照射目标之间的照射光学系统的焦点位置被散焦，使得焦点位置和照射目标之间的距离z为[公式1] |
| 公开日期 | 2012-08-15 |
| 申请日期 | 2008-05-12 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46401]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 索尼株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 月原浩一. 照射设备、半导体制造设备与方法和显示装置制造方法. CN101303969B. 2012-08-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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