半导体激光器下电极键合机
文献类型：专利
| 作者 | 王立军; 武胜利; 付德惠; 刘云 |
| 发表日期 | 1999-06-09 |
| 专利号 | CN2323480Y |
| 著作权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 半导体激光器下电极键合机 |
| 英文摘要 | 一种半导体激光器下电极键合机,属半导体技术领域。本设计集三维微米量级精度调解、角度调解、快速升、降温控制(3分钟从室温升到170℃,5分钟从170℃降至40℃)、压力控制(从1—20克),气体携带管芯,惰性气体保护、光学系统同时检测于一体的下电极键合机,是制作半导体激光器下电极不可缺少的设备。 |
| 公开日期 | 1999-06-09 |
| 申请日期 | 1997-12-27 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46954]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王立军,武胜利,付德惠,等. 半导体激光器下电极键合机. CN2323480Y. 1999-06-09. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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