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表面発光レーザ·ダイオード·アレイ

文献类型:专利

作者シー-ユアン·ウォン; マイケル·アール·ティー·タン
发表日期2006-03-31
专利号JP3787376B2
著作权人アジレント·テクノロジーズ·インク
国家日本
文献子类授权发明
其他题名表面発光レーザ·ダイオード·アレイ
英文摘要【目的】アレイにおける個別の表面発光レーザ·ダイオードを光学的および熱的に容易に分離するための方法を提供する。 【構成】本発明の一実施例によれば、表面発光レーザ(SEL)アレイは、発光層と、発光層を挟む第1、第2のミラー層とを備えている。第1、第2のミラー層は、発光層で発生された光を発光層に向けて反射する。第1のミラー層は、該第1のミラー層を通って延びる複数の光分離領域を備えている。光分離領域は、発光層をそれぞれがSELに対応する複数の光発光領域に分割する。各光分離領域は、光発生領域の1つで発生された光が付近の光発生領域に伝播するのを防止する。光分離領域はトレンチ(溝)で構成される。トレンチは吸光材で充填することができ、また、熱伝導材を充填して熱放散経路を提供することもできる。光分離領域は、領域をイオン注入によって、または、不規則化することによって作製することもできる。
公开日期2006-06-21
申请日期1995-07-07
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47263]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位アジレント·テクノロジーズ·インク
推荐引用方式
GB/T 7714
シー-ユアン·ウォン,マイケル·アール·ティー·タン. 表面発光レーザ·ダイオード·アレイ. JP3787376B2. 2006-03-31.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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