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一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法

文献类型:专利

作者佟存柱; 卢泽丰; 舒世立; 吴昊; 田思聪; 汪丽杰; 宁永强; 王立军
发表日期2017-10-03
专利号CN104577706B
著作权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
国家中国
文献子类授权发明
其他题名一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法
英文摘要本发明公开了一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法。该激光器采用阶梯型波导结构,即在激光器工作时产热严重的有源区部分刻蚀成阶梯型台面的方法,使得产热区域热交换面积增大,能够有效的降低有源区温度,并可改善传统湿法刻蚀双沟道脊型波导带来的电流限制差的缺点,减少电流泄漏,提高激光器电光转换效率。利用本发明,可以提高激光器的输出功率、工作稳定性及使用寿命,减小控温设备压力,适用于高功率量子级联激光器单管及阵列的制作。
公开日期2017-10-03
申请日期2014-12-25
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47886]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
佟存柱,卢泽丰,舒世立,等. 一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法. CN104577706B. 2017-10-03.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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