一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器
文献类型：专利
| 作者 | 马向阳; 汪粲星; 杨德仁 |
| 发表日期 | 2017-06-20 |
| 专利号 | CN104617484B |
| 著作权人 | 浙江大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器，包括硅衬底，硅衬底的正面自下而上依次设有ZnO薄膜、SiO2薄膜和半透明电极，硅衬底背面设有欧姆接触电极，所述ZnO薄膜和SiO2薄膜之间设有MoO3薄膜。本发明还公开了该电抽运随机激光器的制备方法，包括如下步骤：(1)在硅衬底正面采用射频磁控溅射沉积ZnO薄膜；(2)在ZnO薄膜上采用射频磁控溅射沉积MoO3薄膜；(3)在MoO3薄膜上采用溶胶‑凝胶法沉积SiO2薄膜；(4)在SiO2薄膜上溅射半透明电极，在硅衬底背面溅射欧姆接触电极。与现有技术相比，本发明基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器的阈值电压显著降低，光输出功率明显提高。 |
| 公开日期 | 2017-06-20 |
| 申请日期 | 2015-01-23 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47924]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 浙江大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马向阳,汪粲星,杨德仁. 一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器. CN104617484B. 2017-06-20. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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