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一种LED芯片及其制造方法

文献类型:专利

作者S·巴德尔; M·费雷尔; B·哈恩; V·海勒; H·-J·卢高尔
发表日期2010-05-26
专利号CN1471735B
著作权人奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司
国家中国
文献子类授权发明
其他题名一种LED芯片及其制造方法
英文摘要本发明涉及一种用于制作具有一个以III-V族氮化物半导体材料为基的薄膜元件(11)的、产生辐射的半导体芯片的方法,首先在外延衬底(100)上淀积薄膜元件(11),该薄膜元件与一个载体(5)连接,然后从该薄膜元件去掉外延衬底(100)。外延衬底(100)具有一个用多晶SiC或多晶GaN或用SiC、GaN或蓝宝石制成的衬底本体(1),该衬底本体借助于一层粘附层(3)与一层生长层(2)连接,并在该生长层上用外延法淀积薄膜元件(11)的层序列。此外,描述了一个这样制作的产生辐射的半导体芯片。
公开日期2010-05-26
申请日期2001-08-31
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47925]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司
推荐引用方式
GB/T 7714
S·巴德尔,M·费雷尔,B·哈恩,等. 一种LED芯片及其制造方法. CN1471735B. 2010-05-26.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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