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半导体元件及其制造方法

文献类型:专利

作者橘浩一; 斋藤真司; 布上真也
发表日期2009-04-08
专利号CN100477421C
著作权人阿尔发得株式会社
国家中国
文献子类授权发明
其他题名半导体元件及其制造方法
英文摘要本发明提供一种可靠性高的半导体元件。该半导体元件包括,衬底;多层膜,所述多层膜具有设置于衬底上的第1导电型覆层、设置于第1导电型覆层上的第1导电型导层、设置于第1导电型导层上的有源层、设置于有源层上的第2导电型导层、设置于第2导电型导层上的第2导电型覆层,并且上述层分别由氮化物系Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体构成;设置于有源层的射出面上的、由氮化物构成的第1保护层;设置于上述第1保护层上的、由折射率与第1保护层不同的氮化物构成的第2保护层。
公开日期2009-04-08
申请日期2006-07-10
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47994]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位阿尔发得株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
橘浩一,斋藤真司,布上真也. 半导体元件及其制造方法. CN100477421C. 2009-04-08.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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