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量子阱混合

文献类型:专利

作者Y・李; K・宋; C-E・扎
发表日期2012-05-09
专利号CN101849277B
著作权人康宁股份有限公司
国家中国
文献子类授权发明
其他题名量子阱混合
英文摘要量子阱混合(QWI)方法的实施方式,该方法包括:提供具有上外延层和下外延层(10、13)的晶片(1),各外延层包括阻挡层,设置在上外延层和下外延层(10、13)之间的量子阱层(11);在上外延层之上施加至少一个牺牲层(21);通过在牺牲层的一部分之上施加QWI加强层(31)从而形成QWI加强区域和QWI抑制区域,其中,QWI加强层(31)之下的一部分是QWI加强区域,另一部分是QWI抑制区域。该方法进一步包括在QWI加强区域和QWI抑制区域之上施加QWI抑制层(41)的步骤,以及在足以使量子阱层(11)和上外延层与下外延层(10、13)的阻挡层之间的原子发生相互扩散的温度下进行退火的步骤。
公开日期2012-05-09
申请日期2008-09-30
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48057]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位康宁股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
Y・李,K・宋,C-E・扎. 量子阱混合. CN101849277B. 2012-05-09.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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