超低发散角倾斜光束的单纵模人工微结构激光器
文献类型：专利
| 作者 | 渠红伟; 张冶金; 张建心; 刘磊 ; 齐爱谊; 王海玲; 马绍栋; 石岩; 郑婉华
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| 发表日期 | 2015-06-10 |
| 专利号 | CN103199435B |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 超低发散角倾斜光束的单纵模人工微结构激光器 |
| 英文摘要 | 一种超低发散角倾斜光束的单纵模人工微结构激光器，包括：一衬底和在衬底上制作的N型下限制层、N型下波导层、有源区、P型上波导层、P型上限制层、P型欧姆接触层、绝缘层，一P型电极制作在绝缘层上；一N型电极，制作在衬底的背面；该P型上限制层的纵向剖面为一脊型结构，脊形结构上部的一侧为整体结构，另一侧为人工微结构，该人工微结构中包括多个狭槽，用于形成电流注入通道和纵向侧向光场限制；其中该脊型结构的整体结构部分为脊型波导增益区，另一侧的人工微结构部分为人工微结构选模区。本发明可增大模场面积，实现超低垂直发散角，改善单模激光器光束质量，提高与光纤或光栅的耦合效率。该激光器只需一次外延和普通光刻技术即可实现单模工作，低制作成本。 |
| 公开日期 | 2015-06-10 |
| 申请日期 | 2013-03-25 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48075]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 渠红伟,张冶金,张建心,等. 超低发散角倾斜光束的单纵模人工微结构激光器. CN103199435B. 2015-06-10. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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