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一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件

文献类型:专利

作者徐天鸿; 曹俊诚
发表日期2016-09-14
专利号CN205583368U
著作权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
国家中国
文献子类实用新型
其他题名一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件
英文摘要本实用新型提供一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件,所述器件包括:半绝缘GaAs衬底;位于该衬底上表面的GaAs缓冲层;位于该缓冲层表面的n型重掺杂下接触层;位于该下接触层表面的有源区;位于有源区表面的n型重掺杂上接触层;位于n型重掺杂上接触层表面且各自分隔的第一、第二、第三上电极金属层,第一上电极金属层与第二上电极金属层之间设有凹至GaAs缓冲层的深隔离槽,第三上电极金属层为退火后可形成高波导损耗的上电极金属层;以及位于n型重掺杂下接触层表面及有源区两侧的下电极金属层。通过本实用新型提供的一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件,解决了现有技术中无法测得THz QCL在可工作电流密度范围内完整的增益谱变化情况的问题。
公开日期2016-09-14
申请日期2016-04-22
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48084]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐天鸿,曹俊诚. 一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件. CN205583368U. 2016-09-14.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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