一种硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器
文献类型：专利
| 作者 | 马向阳; 潘景伟; 陈培良; 杨德仁 |
| 发表日期 | 2010-09-29 |
| 专利号 | CN101588021B |
| 著作权人 | 浙江大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器，在硅衬底的正面自下而上依次生长ZnO薄膜、ZnO纳米棒阵列、SiO2薄膜和半透明电极，在硅衬底背面沉积欧姆接触电极。本发明还公开了该电抽运随机激光器的制备方法：用磁控溅射法在清洗后的n型硅片上生长ZnO薄膜；采用化学水浴沉积法在ZnO薄膜上生长ZnO纳米棒阵列并在空气气氛下进行热处理；用溶胶-凝胶法在ZnO纳米棒阵列上生长SiO2薄膜；在SiO2薄膜上溅射半透明电极，在硅衬底背面溅射欧姆接触电极。本发明的硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器结构简单，在足够的正向偏压(Si接负极)下可以获得来自于ZnO纳米棒阵列的紫外电抽运随机激光。 |
| 公开日期 | 2010-09-29 |
| 申请日期 | 2009-06-10 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48092]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 浙江大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马向阳,潘景伟,陈培良,等. 一种硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器. CN101588021B. 2010-09-29. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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