表面发光型元件的制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 金子刚; 近藤贵幸 |
| 发表日期 | 2006-07-05 |
| 专利号 | CN1263169C |
| 著作权人 | 精工爱普生株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 表面发光型元件的制造方法 |
| 英文摘要 | 一种沿衬底的垂直方向发射光的表面发光型发光元件的制造方法，包括以下工序(a)～(e)：(a)腐蚀多层膜的至少一部分来形成柱状部的工序，(b)形成覆盖柱状部的第1树脂层的工序，(c)改变第1树脂层相对于液体中的溶解度来形成第2树脂层的工序，(d)在溶解第2树脂层的液体中，至少将柱状部和第2树脂层浸渍规定时间，在第2树脂层中至少除去在柱状部上形成的部分的工序，(e)使第2树脂层固化来形成绝缘层的工序。 |
| 公开日期 | 2006-07-05 |
| 申请日期 | 2002-03-09 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48120]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 精工爱普生株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金子刚,近藤贵幸. 表面发光型元件的制造方法. CN1263169C. 2006-07-05. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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