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p-ZnO和n-GaN组合的多层端发射激光器及制备方法

文献类型:专利

作者杜国同; 夏晓川; 赵旺; 梁红伟; 张宝林
发表日期2013-07-10
专利号CN102263370B
著作权人圆融光电科技股份有限公司
国家中国
文献子类授权发明
其他题名p-ZnO和n-GaN组合的多层端发射激光器及制备方法
英文摘要本发明属于半导体发光器件技术领域,涉及几种p-ZnO和n-GaN组合的多层端发射激光器及其制备方法。其芯片依次由衬底、n-GaN外延层、Ga2O3或n型AlGaN电流下限制层、p-ZnO基材料发光层、p型宽带隙ZnO基三元系材料电流上限制层、上电极构成,衬底是导电的GaAs晶体片、导电的InP晶体片、导电的SiC晶体片或导电的GaN晶体片,其导电类型和GaN外延层相同,衬底下面制备有下电极,由芯片解理的前、后端面构成前反射镜和后反射镜,器件在前反射镜和后反射镜出光。本发明制备了ZnO基激光器的可控谐振腔,可以降低激光器的阈值电流,提高器件输出功率,使激光的方向变好,进一步拓展了器件的应用范围。
公开日期2013-07-10
申请日期2010-10-09
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48176]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位圆融光电科技股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
杜国同,夏晓川,赵旺,等. p-ZnO和n-GaN组合的多层端发射激光器及制备方法. CN102263370B. 2013-07-10.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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