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氮化物半導體雷射元件及其製造方法

文献类型:专利

作者小崎德也; 坂本惠司; 松村拓明
发表日期2011-08-11
专利号TWI347054B
著作权人日亞化學工業股份有限公司
国家中国台湾
文献子类授权发明
其他题名氮化物半導體雷射元件及其製造方法
英文摘要本發明揭示一種氮化物半導體雷射裝置及其製造方法,該裝置具有一計數器電極結構,其接觸電阻係降低。該氮化物半導體雷射裝置包括:一氮化物半導體基板,其具有該第一主要表面及該第二主要表面,一氮化物半導體層,其堆疊在該氮化物半導體基板之第一主要表面上,一脊狀長條,其形成在該氮化物半導體層中,及一共振表面,其以垂直該脊形長條長度之方向形成一光學波導,其中該氮化物半導體基板包括一第一區,其具有一(0001)面板之長晶面,及一第二區,其具有一至少與該第一區不同之長晶面,及一凹洞形成在一第一主要表面及/或一第二主要表面之第二區中。一脊形長條覆於該氮化物半導體基板之第一主要表面之上而形成。
公开日期2011-08-11
申请日期2004-06-25
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48197]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日亞化學工業股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
小崎德也,坂本惠司,松村拓明. 氮化物半導體雷射元件及其製造方法. TWI347054B. 2011-08-11.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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