LED的群集工具
文献类型：专利
| 作者 | S·尼杰哈瓦; B·H·伯罗斯; 石川哲也; O·克利里欧科; A·瓦苏德范; 苏杰; D·H·考齐; 常安中; Y·梅尔尼克; H·S·拉迪雅 |
| 发表日期 | 2015-04-08 |
| 专利号 | CN102414844B |
| 著作权人 | 应用材料公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | LED的群集工具 |
| 英文摘要 | 本发明大体而言提供了用于形成LED结构的装置和方法。本发明的一个实施例提供了一种用于制造复合氮化物结构的方法，包括：在第一处理腔室中，通过氢化物气相外延(HVPE)处理或金属有机化学气相沉积(MOCVD)处理在基板上形成包含第一III族元素和氮的第一层；在第二处理腔室中，通过MOCVD处理在第一层上形成包含第二III族元素和氮的第二层；以及通过MOCVD处理在第二层上形成包含第三III族元素和氮的第三层。 |
| 公开日期 | 2015-04-08 |
| 申请日期 | 2010-04-27 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48199]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 应用材料公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | S·尼杰哈瓦,B·H·伯罗斯,石川哲也,等. LED的群集工具. CN102414844B. 2015-04-08. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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