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氮化镓基化合物半导体器件

文献类型:专利

作者李成男; 白好善; 孙重坤; 司空坦
发表日期2009-09-09
专利号CN100539212C
著作权人三星电子株式会社
国家中国
文献子类授权发明
其他题名氮化镓基化合物半导体器件
英文摘要提供了一种氮化镓(GaN)基化合物半导体器件,该器件具有改进在衬底上生长的薄膜的表面特性的结构。该GaN基化合物半导体器件包括:AlxInyGa1-x-yN衬底(0≤x≤1,0≤y≤1,且0≤x+y≤1),衬底表面相对于(0001)平面朝预定方向倾斜大于0°且小于1°的偏角;以及生长在该衬底上的GaN基化合物半导体层。
公开日期2009-09-09
申请日期2005-11-14
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48227]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三星电子株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
李成男,白好善,孙重坤,等. 氮化镓基化合物半导体器件. CN100539212C. 2009-09-09.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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