薄膜光伏电池的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 王伟明; 胡双元; 孙飞; 程雪梅 |
| 发表日期 | 2016-03-16 |
| 专利号 | CN102956552B |
| 著作权人 | 江苏宜兴德融科技有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 薄膜光伏电池的制备方法 |
| 英文摘要 | 一种半导体器件的制备方法，包括以下步骤：a)提供第一半导体衬底；b)在第一半导体衬底上形成牺牲层；c)在牺牲层上制备半导体器件的功能层；d)将半导体器件的功能层分离成具有预定阵列图案的半导体器件的功能单元；e)采用腐蚀溶液腐蚀牺牲层，实现第一衬底与功能层的剥离。根据本发明，在腐蚀牺牲层之前，先将半导体器件的功能层分离成半导体器件的功能单元的阵列，使得在腐蚀过程中，腐蚀溶液腐蚀牺牲层的腐蚀路径缩短，极大地提高了衬底的剥离速度和剥离均匀性，进而能够提高半导体器件的剥离成品率和生产效率，降低生产成本。 |
| 公开日期 | 2016-03-16 |
| 申请日期 | 2012-08-21 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48298]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 江苏宜兴德融科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王伟明,胡双元,孙飞,等. 薄膜光伏电池的制备方法. CN102956552B. 2016-03-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。