微機電式差分致動器
文献类型：专利
| 作者 | 李孝文; 吳文益 I; 溫士逸; 郭武政; 翁瑞坪 |
| 发表日期 | 2004-06-21 |
| 专利号 | TW593125B |
| 著作权人 | 財團法人工業技術研究院 |
| 国家 | 中国台湾 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 微機電式差分致動器 |
| 英文摘要 | 一種微機電式差分致動器，主要係藉由提供一懸臂組結構及/或橋式結構達成兩自由度無傾角的平行運動特性，由於懸臂組結構具差分(differential)特性，如環境溫度變異之共模(common mode)驅動外力將不產生偏角變化，而可使得致動器承載座端仍具兩自由度出平面或是內平面的上下左右無傾角平行運動特性，適合用於如光開關、可調衰減器、光可調濾波器、可調面發光雷射、光柵調變器、微光顯示器及射頻開關等光學微機電元件中。 |
| 公开日期 | 2004-06-21 |
| 申请日期 | 2002-08-09 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48648]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 財團法人工業技術研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李孝文,吳文益 I,溫士逸,等. 微機電式差分致動器. TW593125B. 2004-06-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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