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一种具有光栅结构的边发射半导体激光器

文献类型:专利

作者崔碧峰; 计伟; 陈京湘; 郭伟玲; 张松; 王晓玲
发表日期2014-11-26
专利号CN102545052B
著作权人北京工业大学
国家中国
文献子类授权发明
其他题名一种具有光栅结构的边发射半导体激光器
英文摘要一种具有光栅结构的边发射半导体激光器,属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的半导体激光器外延结构;同时包括了二氧化硅绝缘层、上层P型电极、下层N型电极,其中光栅结构生长在脊形台上,制作过程采用光刻工艺;划片后,将芯片烧结在铜热沉上,封装固定在散热基座上。此结构中脊形台上光栅结构的引入抑制了注入到有源层载流子的侧向扩散,提高有源区载流子分布的均匀性,从而降低半导体激光器的阈值电流。本发明制作工艺简单、成本低、重复性好。
公开日期2014-11-26
申请日期2012-03-09
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48674]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
崔碧峰,计伟,陈京湘,等. 一种具有光栅结构的边发射半导体激光器. CN102545052B. 2014-11-26.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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