基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统
文献类型：专利
| 作者 | 程韦; 滕艳华; 张泽华; 夏玲燕; 薛长国; 何培文; 陈兆权 |
| 发表日期 | 2015-06-24 |
| 专利号 | CN204421839U |
| 著作权人 | 安徽理工大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统 |
| 英文摘要 | 本实用新型提供一种基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，属于微系统设备中的微位移检测领域。其包括半导体激光器、USB显微摄像头、半透半反镜、反应池、第一平面镜、第二平面镜、光电位置敏感探测器、模数转换器和一计算机。本实用新型采取半透半反镜使激光束可以准确的照射到微悬臂梁尖端上；利用在反应池内的多块平面镜将经微悬臂梁反射后的激光束再次进行反射，改变激光束路径，缩小装置体积；同时减少外围因素对微悬臂梁系统性能的影响，实现精确度更高的检测。 |
| 公开日期 | 2015-06-24 |
| 申请日期 | 2015-01-22 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48982]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 安徽理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程韦,滕艳华,张泽华,等. 基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统. CN204421839U. 2015-06-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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