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单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法

文献类型:专利

作者朱刚毅; 王永进
发表日期2019-01-08
专利号CN106785899B
著作权人南京邮电大学
国家中国
文献子类授权发明
其他题名单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法
英文摘要本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔,该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”,在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在光泵浦条件下,金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制,最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。
公开日期2019-01-08
申请日期2016-12-19
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49347]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位南京邮电大学
推荐引用方式
GB/T 7714
朱刚毅,王永进. 单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法. CN106785899B. 2019-01-08.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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