一种侧向耦合面发射激光器及其制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 邹永刚; 田锟; 范杰; 马晓辉; 王海珠; 海一娜; 石琳琳; 徐莉 |
| 发表日期 | 2019-03-19 |
| 专利号 | CN106356714B |
| 著作权人 | 长春理工大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种侧向耦合面发射激光器及其制造方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种侧向耦合面发射激光器及其制造方法，其包括制作在同一外延片上的多个激光器单管，每个激光器单管包括自上而下依次分布的上电极、衬底、中间层、二阶光栅层和下电极，中间层包括自上而下依次设置的缓冲层、过渡层、n盖层、n包层、有源层、p包层和p盖层，其中，二阶光栅层设置在p盖层上远离有源层的一侧，二阶光栅层的光栅脊为曲线，且相邻两个激光器单管之间的光栅脊一一对应连接。本发明不仅扩大了腔内激光的谐振范围，而且相邻两个激光器单管之间的光栅脊一一对应连接，其实现了相邻激光器单管之间的光子互注入，以及提升了激光增益介质利用率的目的，从而有利于实现激光器的高功率、高光束质量的工作输出。 |
| 公开日期 | 2019-03-19 |
| 申请日期 | 2016-11-21 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49373]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 长春理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹永刚,田锟,范杰,等. 一种侧向耦合面发射激光器及其制造方法. CN106356714B. 2019-03-19. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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