微腔芯片型激光自混合距离传感方法
文献类型：专利
| 作者 | 吕亮; 曹志刚; 俞本立; 向荣; 王德辉; 周俊峰; 桂华侨; 刘建国; 王焕钦; 张道信 |
| 发表日期 | 2019-06-04 |
| 专利号 | CN105790070B |
| 著作权人 | 安徽大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 微腔芯片型激光自混合距离传感方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本发明提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感方法及系统，该方法基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。 |
| 公开日期 | 2019-06-04 |
| 申请日期 | 2016-04-20 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49397]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 安徽大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕亮,曹志刚,俞本立,等. 微腔芯片型激光自混合距离传感方法. CN105790070B. 2019-06-04. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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