硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片
文献类型：专利
| 作者 | 郑婉华; 董风鑫; 刘安金 |
| 发表日期 | 2019-07-05 |
| 专利号 | CN107872005B |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片 |
| 英文摘要 | 一种硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片，所述激光器包括依次设置的半导体光放大器、硅基模斑变换器、热调硅基环形谐振器及硅基相移器和双端口硅基多模干涉反射镜。所述双端口硅基多模干涉反射镜包括输入波导、输出波导、多模波导，以及分别将输入波导、输出波导与所述多模波导一端连接的锥形波导，所述输入波导连接到所述热调硅基双环谐振器的输出端，所述多模波导的另一端具有两个与波导轴向成45°的刻蚀面，两个刻蚀面垂直相交处位于所述多模干涉自成像波导的轴线上；所述激光器和其他硅基功能器件组成光子芯片。本发明的可调谐激光器及光子芯片具有尺寸小、成本低的优点，易于集成，在集成光电子领域和光通信领域有广阔的应用前景。 |
| 公开日期 | 2019-07-05 |
| 申请日期 | 2017-10-20 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49419]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑婉华,董风鑫,刘安金. 硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片. CN107872005B. 2019-07-05. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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