Structure and method for the fabrication of a gallium nitride vertical cavity surface emitting laser
文献类型：专利
| 作者 | HOLDER, CASEY O.; FEEZELL, DANIEL F.; DENBAARS, STEVEN P.; SPECK, JAMES S.; NAKAMURA, SHUJI |
| 发表日期 | 2017-05-02 |
| 专利号 | US9640947 |
| 著作权人 | THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA |
| 国家 | 美国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | Structure and method for the fabrication of a gallium nitride vertical cavity surface emitting laser |
| 英文摘要 | A III-Nitride based Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL), wherein a cavity length of the VCSEL is controlled by etching. |
| 公开日期 | 2017-05-02 |
| 申请日期 | 2015-08-06 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49727]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | HOLDER, CASEY O.,FEEZELL, DANIEL F.,DENBAARS, STEVEN P.,et al. Structure and method for the fabrication of a gallium nitride vertical cavity surface emitting laser. US9640947. 2017-05-02. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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