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一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构

文献类型:专利

作者姚丹阳; 张锦川; 周予虹; 贾志伟; 闫方亮; 王利军; 刘俊岐; 刘峰奇; 王占国
发表日期2016-08-17
专利号CN104267503B
著作权人中国科学院半导体研究所
国家中国
文献子类授权发明
其他题名一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构
英文摘要本发明公开了一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构,其包括:衬底,其上制作有双沟道脊型波导结构,脊型区中设有激光器有源区;光栅层,制作在衬底上表面;电隔离层,制作在光栅层上表面,在光栅层与脊型区对应的上表面处断开形成电注入窗口;双沟填充物,填充在双沟道中;下欧姆接触层,制作在衬底的下表面;亚波长金属等离子体天线,制作在所述电隔离层和双沟填充物的上表面,在脊型区对应的上表面处断开,在形成电注入欧姆接触区域的同时形成光输出窗口。本发明有效的降低面发射激光器慢轴方向的远场发散角,实现小发散角准圆斑甚至圆斑面发射器件的制作。
公开日期2016-08-17
申请日期2014-09-30
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50349]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
姚丹阳,张锦川,周予虹,等. 一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构. CN104267503B. 2016-08-17.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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