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在降低的温度下制造的(Al、Ga、In)N二极管激光器

文献类型:专利

作者D·A·科恩; S·P·邓巴尔思; 中村修二
发表日期2013-06-12
专利号CN102099976B
著作权人加利福尼亚大学董事会
国家中国
文献子类授权发明
其他题名在降低的温度下制造的(Al、Ga、In)N二极管激光器
英文摘要一种制造(Al、Ga、In)N激光二极管的方法,包括在第一温度下在生长衬底上沉积一个或多个III-N层,在第二温度下在第一温度沉积的层上沉积含铟激光器核心,在抑制激光器核心劣化的条件下进行所有随后的制造步骤,其中该条件是基本上低于第二温度的温度。
公开日期2013-06-12
申请日期2009-06-01
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50485]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位加利福尼亚大学董事会
推荐引用方式
GB/T 7714
D·A·科恩,S·P·邓巴尔思,中村修二. 在降低的温度下制造的(Al、Ga、In)N二极管激光器. CN102099976B. 2013-06-12.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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