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自動ダイボンダー

文献类型:专利

作者関 政義; 並木 周; 大石 勇; 山内 朗; 苅北 一朗; 木下 義浩
发表日期1994-08-05
专利号JP1994216170A
著作权人古河電気工業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名自動ダイボンダー
英文摘要【目的】 互いに接合する2つのワークの位置合わせの精度を飛躍的に高め、且つボンデイングの完全自動化を可能にする。 【構成】 保持コレット3の移動によりそれに保持されたワーク1を可動テーブル5上のワーク2と対向させ、精密位置決め装置により両ワーク1、2を精密に位置合わせしてから、保持コレットに保持されたワークを他方のワークに圧着して両ワークを接合する自動ダイボンダーであり、同精密位置決め装置を、移動可能で且つ両ワークの位置を検出可能で且つ各ワークをその被撮影面に直交する方向から撮影可能な固体撮像素子7と、同固体撮像素子からの検出信号により両ワークの相対的な位置ずれを算出して可動テーブルの移動を制御する処理制御部とで構成した。固体撮像素子が両ワークを同一視野で撮影できるようにした。
公开日期1994-08-05
申请日期1993-01-18
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50806]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位古河電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
関 政義,並木 周,大石 勇,等. 自動ダイボンダー. JP1994216170A. 1994-08-05.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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