自動ダイボンダー
文献类型:专利
作者 | 関 政義; 並木 周; 大石 勇; 山内 朗; 苅北 一朗; 木下 義浩 |
发表日期 | 1994-08-05 |
专利号 | JP1994216170A |
著作权人 | 古河電気工業株式会社 |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 自動ダイボンダー |
英文摘要 | 【目的】 互いに接合する2つのワークの位置合わせの精度を飛躍的に高め、且つボンデイングの完全自動化を可能にする。 【構成】 保持コレット3の移動によりそれに保持されたワーク1を可動テーブル5上のワーク2と対向させ、精密位置決め装置により両ワーク1、2を精密に位置合わせしてから、保持コレットに保持されたワークを他方のワークに圧着して両ワークを接合する自動ダイボンダーであり、同精密位置決め装置を、移動可能で且つ両ワークの位置を検出可能で且つ各ワークをその被撮影面に直交する方向から撮影可能な固体撮像素子7と、同固体撮像素子からの検出信号により両ワークの相対的な位置ずれを算出して可動テーブルの移動を制御する処理制御部とで構成した。固体撮像素子が両ワークを同一視野で撮影できるようにした。 |
公开日期 | 1994-08-05 |
申请日期 | 1993-01-18 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50806] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 古河電気工業株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 関 政義,並木 周,大石 勇,等. 自動ダイボンダー. JP1994216170A. 1994-08-05. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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