レーザダイオードの出力パワーを制御する装置
文献类型：专利
| 作者 | ジャン-フランソワ ケニア; アンドレ ジェラール |
| 发表日期 | 1994-04-08 |
| 专利号 | JP1994097548A |
| 著作权人 | フランス テレコム エタブリスマン オートノンドゥ ドロワ ピューブリック (サントル ナシォナル デチュード デ テレコミュニカシォン) |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | レーザダイオードの出力パワーを制御する装置 |
| 英文摘要 | (修正有) 【目的】 xy方向の相対位置関係やギャップの検出が容易で、しかもホログラム変形にも対応できるアライメント方法を備えたホログラフィを用いた露光方法及び装置等を提供すること。 【構成】 ホログラフィ露光方法において、アライメント用のホログラムを形成する手段と、ウエハ5aに設けられたウエハからの回折波E2をアライメント用のホログラムを介して検出する工程と、この検出結果に基づいてウエハとホログラムとの相対位置ずれを検知し又は補正するアライメント手段を有するもの。 |
| 公开日期 | 1994-04-08 |
| 申请日期 | 1993-07-30 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50838]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | フランス テレコム エタブリスマン オートノンドゥ ドロワ ピューブリック (サントル ナシォナル デチュード デ テレコミュニカシォン) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | ジャン-フランソワ ケニア,アンドレ ジェラール. レーザダイオードの出力パワーを制御する装置. JP1994097548A. 1994-04-08. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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