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半導体素子,及び半導体素子の製造方法

文献类型:专利

作者船場 真司; 石村 栄太郎
发表日期1997-02-14
专利号JP1997045954A
著作权人三菱電機株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体素子,及び半導体素子の製造方法
英文摘要【課題】 素子容量を低減させた半導体素子及びその製造方法,暗電流を増加させることなくエッジブレークダウンを防ぐことができる半導体素子及びその製造方法,並びに容易な製造工程により得ることができる半導体素子及びその製造方法を提供することを課題とする。 【解決手段】 n型のInP半導体基板1上に順次配置されたn-InPバッファ層2,n- -InGaAs光吸収層3、及びFeドープInP窓層17と、InP窓層17に固相拡散法を用いてZnを拡散して形成されたp型領域5と、基板1の裏面に設けられたn側電極10と、p型領域5上にp型InGaAsコンタクト層6を介して配置された,ボンディングパッド領域Bを備えたp側電極8とを備えた構成とした。
公开日期1997-02-14
申请日期1995-07-31
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50975]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
船場 真司,石村 栄太郎. 半導体素子,及び半導体素子の製造方法. JP1997045954A. 1997-02-14.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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