光集積装置の製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 森戸 健 |
| 发表日期 | 1997-07-31 |
| 专利号 | JP1997199794A |
| 著作权人 | FUJITSU LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光集積装置の製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 バットジョイント型の光集積回路の製造方法において、バットジョイント形成部における半導体層の膜厚の増大を抑止し、光半導体素子間の光結合効率を最大化する。 【解決手段】 第1の光半導体素子を形成した後、第2の光半導体素子を気相反応により形成する際に、第2の光半導体素子が形成される領域を画成する再成長マスクの形状を、第1の光半導体素子から離間するにつれて幅が増大するような形状に形成する。 |
| 公开日期 | 1997-07-31 |
| 申请日期 | 1996-01-12 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/51010]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | FUJITSU LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 森戸 健. 光集積装置の製造方法. JP1997199794A. 1997-07-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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