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半導体レーザアレイ及びその製造方法

文献类型:专利

作者岩瀬 正幸
发表日期1998-02-20
专利号JP1998051078A
著作权人古河電気工業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザアレイ及びその製造方法
英文摘要【課題】 製造に際し、プロセス制御が容易で、しかも光ファイバーとの光結合が容易な半導体レーザアレイ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 本半導体レーザアレイ10は、サブマウント12と、サブマウント上にアレイ状に配置された複数個の半導体レーザ14とから構成されている。サブマウントは共通のp側電極16を上層に備え、各半導体レーザは共振器部18とn側電極20とが分離溝22により電気的に相互に分離され、かつp側電極がジャンクションダウン状態でサブマウントのp側電極上にボンディングされて電気的に接続され、相互に独立に動作する。アレイの周りは、光透過性が高く、透湿性の低い樹脂層24で包囲されており、その高さは半導体レーザと同じ高さである。樹脂層の一部を取り除いた領域に、p側電極が露出している。半導体レーザは、n-InP基板上のBH-LDとして構成され、寄生容量低減のための溝23を有し、n側電極20から信号用のリード線26が樹脂層24上に延在している。
公开日期1998-02-20
申请日期1996-08-06
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/51044]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位古河電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
岩瀬 正幸. 半導体レーザアレイ及びその製造方法. JP1998051078A. 1998-02-20.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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