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光学用シリコン層を基板上に形成する方法および該方法による光学素材の製造方法

文献类型:专利

作者アジ, エマニュエル; ポートラ, ジャン-ルイ
发表日期2002-10-29
专利号JP2002536708A
著作权人コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
国家日本
文献子类发明申请
其他题名光学用シリコン層を基板上に形成する方法および該方法による光学素材の製造方法
英文摘要The invention relates to a method for forming an optical silicon layer (22a) on a support (10), having a specific thickness. The inventive method comprises the following steps: a) a silicon block (20a) is molecularly bonded to the support, whereby the silicon block has a surface layer (22a) that is defined by a cleavage zone, b) the silicon block is cleaved according to the cleavage zone in order to detach the surface layer therefrom, c) the thickness of the surface layer is adjusted. The invention can be used in the production of optical components.
公开日期2002-10-29
申请日期2000-02-07
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/51280]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
推荐引用方式
GB/T 7714
アジ, エマニュエル,ポートラ, ジャン-ルイ. 光学用シリコン層を基板上に形成する方法および該方法による光学素材の製造方法. JP2002536708A. 2002-10-29.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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