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異種部材の熱接着方法

文献类型:专利

作者野田 進; 今田 昌宏; 小川 新平
发表日期2004-08-05
专利号JP2004219688A
著作权人独立行政法人科学技術振興機構
国家日本
文献子类发明申请
其他题名異種部材の熱接着方法
英文摘要【課題】3次元フォトニック結晶の製造において、異なる材料から成る部材同士を剥離が生じることなく、且つ位置ずれが生じることなく熱接着することができる方法を提供する。 【解決手段】3次元フォトニック結晶の主構成層22と発光層24とを、220℃の温度で仮接着する((a)、(b))。発光層24を載置した基板23を機械研磨により薄くする((c))。主構成層22と発光層24とを525℃の温度で本接着する((d))。これにより、基板21と基板23との熱膨張の差により主構成層22-発光層24間に生じる力は、仮接着時には温度が低いため、また本接着時には基板23が薄いために、共に小さくなる。そのため、熱接着により主構成層22と発光層24とが剥離することはない。また、本接着時においても基板23が残存するため、位置ずれが生じることもない。 【選択図】 図3
公开日期2004-08-05
申请日期2003-01-15
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/51366]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位独立行政法人科学技術振興機構
推荐引用方式
GB/T 7714
野田 進,今田 昌宏,小川 新平. 異種部材の熱接着方法. JP2004219688A. 2004-08-05.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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