密封されたキャビティと組み込まれた光学素子とを有するオプトエレクトロニクスデバイスのパッケージング
文献类型：专利
| 作者 | ブレントン·エイ·バウ; ターニャ·ジェイ·スナイダー; ケンドラ·ギャラップ |
| 发表日期 | 2005-04-07 |
| 专利号 | JP2005094016A |
| 著作权人 | AGILENT TECHNOL INC |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 密封されたキャビティと組み込まれた光学素子とを有するオプトエレクトロニクスデバイスのパッケージング |
| 英文摘要 | 【課題】パッケージングされたオプトエレクトロニクスデバイスの大きさ及び/又はコストを低減させることができるパッケージング技術及び構造を提供すること。 【解決手段】ミラー(550)その他の光学素子が組み込まれる密閉されたキャビティ(540)を含むオプトエレクトロニクスデバイス(510)のためのパッケージ(500)。このパッケージングは個々のレーザ毎に又はウェハレベルで実施することができる。ウェハレベルでのプロセスは、第1のウェハ(120)内にサブマウントを作製し、第2のウェハ(130)内に反射領域(150)を有するくぼみを作製し、オプトエレクトロニクスデバイス(110)を第1のウェハ(120)上の個々のサブマウントに電気的に接続し、及び第2のウェハ(130)を第1のウェハ(120)に接合して、オプトエレクトロニクスデバイス(110)が第2のウェハ(130)内のくぼみに対応するキャビティ(140)内に密閉される。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2005-04-07 |
| 申请日期 | 2004-09-16 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/51440]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | AGILENT TECHNOL INC |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | ブレントン·エイ·バウ,ターニャ·ジェイ·スナイダー,ケンドラ·ギャラップ. 密封されたキャビティと組み込まれた光学素子とを有するオプトエレクトロニクスデバイスのパッケージング. JP2005094016A. 2005-04-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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