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集積回路素子の冷却装置

文献类型:专利

作者デイビット·コープランド; 桑原 平吉; 高橋 研二
发表日期1995-03-10
专利号JP1995066338A
著作权人株式会社日立製作所
国家日本
文献子类发明申请
其他题名集積回路素子の冷却装置
英文摘要【目的】本発明の目的は、集積回路素子及びレーザダイオードの素子の冷却に関するものである。 【構成】高い熱流束の素子を冷却するために微細なフィン間に冷媒を流すマイクロ流路を用いる場合に伴う圧力損失を低減するための多数の流路を用いた構造の冷却系を示した。また、マイクロ流路のフィン上面に軽く接触する構造とすることにより、熱膨張等の相違による強度信頼性の低下を防いだ。本発明の流路系は、マルチチップモジュールを冷却する際に、並列構造とすることができ、ポンプ動力を少なくすることができる。 【効果】本発明によれば、高発熱する集積回路素子及びレーザダイオードの素子の冷却を高効率に行うことができる。
公开日期1995-03-10
申请日期1993-08-27
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/51959]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社日立製作所
推荐引用方式
GB/T 7714
デイビット·コープランド,桑原 平吉,高橋 研二. 集積回路素子の冷却装置. JP1995066338A. 1995-03-10.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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