Multiplex laser light source and exposure apparatus
文献类型：专利
| 作者 | OKAZAKI, YOJI; NAGANO, KAZUHIKO |
| 发表日期 | 2002-07-11 |
| 专利号 | US20020090172A1 |
| 著作权人 | ADTEC ENGINEERING CO., LTD. |
| 国家 | 美国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | Multiplex laser light source and exposure apparatus |
| 英文摘要 | Disclosed herein is a multiplex laser light source equipped with a plurality of semiconductor lasers, a single multi-mode optical fiber, and a light-collecting optics system for collecting laser beams emitted from the plurality of semiconductor lasers and then coupling the collected laser beams to the multi-mode optical fiber. |
| 公开日期 | 2002-07-11 |
| 申请日期 | 2001-11-06 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/52576]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | ADTEC ENGINEERING CO., LTD. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | OKAZAKI, YOJI,NAGANO, KAZUHIKO. Multiplex laser light source and exposure apparatus. US20020090172A1. 2002-07-11. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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