a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吉利 ; 冶银平; 李红轩; 周惠娣; 陈建敏; 吴艳霞; 孙晓军
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| 刊名 | 功能材料
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 43期号:3页码:313-316 |
| 关键词 | 磁控溅射 a-C∶H 膜 真空度 摩擦学性能 magnetron sputtering a-C∶H film vacuum degree tribological property |
| ISSN号 | 1001-9731 |
| 通讯作者 | 冶银平 |
| 中文摘要 | 采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢及Sip(111)基体上制备了含氢无定形碳(a-C∶H) 薄膜，沉积的薄膜表面光滑，硬度高，内应力小，膜/基结合力好。利用球-盘摩擦实验机对薄膜在不同真空度(1.0×105、5.0×10-2、1.0×10-2、5.0×10-3 Pa)下的摩擦学行为进行了研究，结果表明，随着真空度的升高，薄膜的摩擦系数逐渐减小，磨损率逐渐增大。在 5.0×10-3 Pa 时，a-C∶H 膜的摩擦学行为发生突变，此时薄膜的摩擦系数为0.005，而耐磨寿命很短。高真空中，薄膜寿命的突变可能与薄膜脱氢而结构发生变化有关。 |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金资助项目(50705093);创新群体基金资助项目(50421502) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4461920 |
| 公开日期 | 2013-07-12 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/3525]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| 通讯作者 | 冶银平 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吉利,冶银平,李红轩,等. a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究[J]. 功能材料,2012,43(3):313-316. |
| APA | 吉利.,冶银平.,李红轩.,周惠娣.,陈建敏.,...&孙晓军.(2012).a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究.功能材料,43(3),313-316. |
| MLA | 吉利,et al."a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究".功能材料 43.3(2012):313-316. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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