真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈建敏 ; 李红轩; 吉利; 吴艳霞; 孙晓军; 周惠娣; 冶银平
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| 刊名 | 中国表面工程
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 25期号:6页码:90-95 |
| 关键词 | 非晶碳氢膜 掺杂膜 对偶 转速 amorphous hydrogenated carbon counterpartball rotating speed |
| ISSN号 | 1007-9289 |
| 中文摘要 | 非晶碳氢(a-C:H)薄膜作为空间润滑材料有很大的应用前景， 它在真空中的摩擦磨损行为与掺杂元素、 摩擦对偶、 滑动速度等因素有关。采用中频非平衡磁控溅射法在AISI202不锈钢和p(111)单晶硅基体上沉积了厚度为1.3～1.6μm的a-C:H膜以及Cr、MoS2 掺杂的a-C:H复合膜。采用球盘摩擦试验机对3种膜的真空摩擦学行为进行了研究， 摩擦性能较好的薄膜在真空中进行了GCr15、Si3N4和C不同对偶以及100、500、1000ｒ/min的不同转速摩擦实验。结果表明： 在沉积气压为5.3×10-1Pa，Ar和CH4的气体流量比为1∶1， 单纯溅射石墨靶(溅射电流12A)的条件下，制备的a-C:H 薄膜在真空中的摩擦因数最低(0.005)，寿命相对最长；对偶对a-C:H膜的摩擦因数影响不大， 但薄膜的耐磨寿命随着对偶硬度的增加而降低； 随着转速的增加，a-C:H膜的摩擦因数和耐磨寿命均降低。 |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金(51275509,51175491);国家基础研究发展计划(973计划)(2013CB632300) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4731590 |
| 公开日期 | 2013-07-12 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/3554]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈建敏,李红轩,吉利,等. 真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响[J]. 中国表面工程,2012,25(6):90-95. |
| APA | 陈建敏.,李红轩.,吉利.,吴艳霞.,孙晓军.,...&冶银平.(2012).真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响.中国表面工程,25(6),90-95. |
| MLA | 陈建敏,et al."真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响".中国表面工程 25.6(2012):90-95. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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