レーザ光源及びレーザ露光装置
文献类型：专利
| 作者 | 横尾 雅一; 石井 智之; 眞野 晃造 |
| 发表日期 | 2005-03-10 |
| 专利号 | JP2005064109A |
| 著作权人 | NORITSU KOKI CO LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | レーザ光源及びレーザ露光装置 |
| 英文摘要 | 【課題】 半導体レーザ素子の発振波長及び波長変換素子の整合波長を一致させ、高効率の変換効率を実現すると共に歩留まりの向上を図ることができるレーザ光源及びレーザ露光装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光源13は、基準波長のレーザ光を出射するLD130と、LD130から出射されたレーザ光から所定の高調波のレーザ光を生成して出力するPPLN素子131と、LD130の出射端とPPLN素子131の入射端との間に介設された所定波長を透過波長として有するFBG133と、FBG133の温度調整を行うペルチェ素子35と、FBG133の温度を検出するサーミスタ36と、FBG133の透過波長をPPLN素子131の整合波長に一致させるべく、FBG133を温度調整する温度制御部40とを備える。 【選択図】図4 |
| 公开日期 | 2005-03-10 |
| 申请日期 | 2003-08-08 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/53102]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | NORITSU KOKI CO LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 横尾 雅一,石井 智之,眞野 晃造. レーザ光源及びレーザ露光装置. JP2005064109A. 2005-03-10. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。