Optical device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation
文献类型：专利
| 作者 | MIZOGUCHI, HAKARU; WAKABAYASHI, OSAMU |
| 发表日期 | 2012-06-07 |
| 专利号 | WO2012073086A1 |
| 著作权人 | GIGAPHOTON INC. |
| 国家 | 世界知识产权组织 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | Optical device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation |
| 英文摘要 | An optical device may include: a first beam shaping unit configured to transform a first laser beam incident thereon into a second laser beam having an annular cross section; and a first focusing optical element for focusing the second laser beam in a first predetermined location so as to generate a Bessel beam. |
| 公开日期 | 2012-06-07 |
| 申请日期 | 2011-11-23 |
| 状态 | 未确认 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54287]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | GIGAPHOTON INC. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | MIZOGUCHI, HAKARU,WAKABAYASHI, OSAMU. Optical device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation. WO2012073086A1. 2012-06-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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