高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法
文献类型：专利
| 作者 | 高爱华; 侯劲尧; 刘卫国; 秦文罡; 韦瑶 |
| 发表日期 | 2019-02-01 |
| 专利号 | CN109297987A |
| 著作权人 | 西安工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法，该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成，所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头，所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件，反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本发明的测量装置及测量方法，克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。 |
| 公开日期 | 2019-02-01 |
| 申请日期 | 2018-11-05 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54981]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 西安工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高爱华,侯劲尧,刘卫国,等. 高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法. CN109297987A. 2019-02-01. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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