HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 韩宇; 陈志标 |
| 发表日期 | 2019-03-08 |
| 专利号 | CN109449753A |
| 著作权人 | 武汉云岭光电有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及半导体激光器领域，提供了一种HCG反射镜层。还提供一种垂直腔面发射激光器。还提供一种HCG反射镜层的制备方法。还提供一种垂直腔面发射激光器的制备方法。本发明的一种HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法，通过使用制备的HCG反射镜层来替代现有技术中的两个DBR反射层，由于该HCG反射镜层包含有具有高对比度的空气悬浮光栅结构，一方面，可以解决VCSEL外延结构复杂且难以实现规模化的缺陷，极大地减少了制作成本，另一方面HCG反射镜层有着反射带宽更宽和偏振保持性更好的优点，并可以通过制备HCG反射镜层时调整制备的参数来达到调节输出光偏振特性的目的；进而使得所制备的VCSEL激光器具有极高反射率和结构简单的特点。 |
| 公开日期 | 2019-03-08 |
| 申请日期 | 2018-11-15 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55050]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 武汉云岭光电有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩宇,陈志标. HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法. CN109449753A. 2019-03-08. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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